专业从事于:澎帆科技
专业维修射频电源服务范围: 主要为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业研发和维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的设备电源, 包括直流、高压、脉冲、射频、微波、CHILLER、 ENI,MKS,AE,ADECT,JINSAN,HUTTINGER,SEREN,ADL,COMDAL,VARIAN等等国内外电源维修。 服务优势: 拥有一批专业技术人才,进口品牌射频电源资深工程技术支持,消化吸收国外先进技术基础上创新发展,锻炼培养十几名经验丰富的维修工程师。拥有自主开发的专业配套射频电源测试平台,高压电源测试负载,直流电源测试负载,专用测试仪器设备,以及丰富的图纸技术资料。 服务品牌: AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源, HiTek Power,Glassman、Spellman高压电源,Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。 ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU。 电源维修 专业维修半导体设备电源,主要有高压电源(High Power Supply)、框架式可控大功率直流电源(DC Power Supply)、 射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等专业设备维修。 Thermo Chiller维修 温度控制泵浦,设备冷却系统,品牌有SMC,小松、大金、申和等 一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源 1、AE(ADVANCED ENERGY)射频电源/直流电源 2、MKS ENI射频电源/直流电源 3、DAIHEN射频电源 4、KYOSAN射频电源/直流电源 5、COMDEL射频电源 6、ADTEC射频电源 7、SEREN射频电源